目前,国产MOCVD设备的研发还处于“消化、吸收”阶段,而国外主流商用机型已建立严密的专利保护,如AIXTRON的Planetary Reactor反应器、THOMAS SAWN的CCS(Close C...
Aixtron采用行星反应(Planetary Reactor),Emcore采用TurboDisc反应室(该业务己出售给Veeeo公司)、Thomas Swan(该公司于2003年2月份被Aixtron兼并)采用 Closed Cou...
如AIXTRON的Planetary Reactor反应器、THOMAS SAWN的CCS(Close Coupled Showerhead Reactor)反应器、VEECO的Turbo Disk反应器和日本SANSO公司双/多束气流(TF)反应...
第二个原因:?比较复杂的高科技电子和仪表产品,开发技术难度较大,精度要求高。第三个原因:半导体对材料要求高,中国厂商强于机加工和成型,但材料产业基础薄弱...
Aixtron采用行星反应(Planetary Reactor),Emcore采用TurboDisc反应室(该业务己出售给Veeeo公司)、Thomas Swan(该公司于2003年2月份被Aixtron兼并)采用 Closed Cou...
第三个原因:半导体对材料要求高,中国厂商强于机加工和成型,但材料产业基础薄弱。Valve、Shower head、Ceramic等零部件,虽然中国厂商可以按照图纸做成型,但往...
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